無塵車間工程是為了實現(xiàn)空氣由空調箱經(jīng)風管與潔凈室內之空氣過濾器進入到潔凈室,在無塵室兩側安裝隔間墻板或高架地板回風。氣流因非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵生產(chǎn)車間等級為1000-100000級的。
優(yōu)點:無塵車間工程構造簡單、系統(tǒng)建造成本也較低,因此在潔凈室的擴充會比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,來提高潔凈室等級。
缺點:
無塵車間工程的亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再啟動,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。